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打造机械设备行业探索者
产品展示
products
设备特点:占地面积小,节省占地空间
1级洁净,主动自洁气流设计。
将晶圆盒置于密封的迷你环境中
所有电气系统均配有现场可编程应用软件
四个可编程联锁信号
晶片盒电流传感器
Pod传感器
晶圆映射传感器(现有,交叉槽)
符合SEMI E19.4, S2和S8标准,并通过CE认证
直接安装到加工工具或手动装载端口适配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)转换open station到SMIF兼容。
可选的RFID阅读器/写入器
可选的红外读/写