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打造机械设备行业探索者
产品展示
products
设备特点:可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统,系统采用了高性能机械手臂和校准器
符合SEMI标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Aligner具有Buffer功能,能够实现晶圆的更换动作,提高了设备的Throughput
配备ID Reader,能够读取晶圆的ID信息(晶圆正反面对应为选配)
上述标准规格之外,以下规格的产品也可以定制 1. 4 FOUP对向摆放(Throughput为400片/h) 2. 4 FOUP的inline类型(Throughput为600片/h)