设备特点：
用于FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。

优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，

有效保护FOUP、晶圆安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；

全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；

•  高速载入载出及安全防护装置

•  专用维修门和维修梯安全设计

标准的SEMI软件接口，可以方便对接MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；

可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。